久留米工業高等専門学校 産学民連携テクノセンター

一般科目(理科系) 山﨑有司

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氏名(日本語) 山﨑 有司
氏名(英語) YAMASAKI Yuuji
学位 修士(理学)
所属(日本語) 一般科目(理科系)
所属(英語) Dept. of Liberal Arts (Natural Science and Mathematics)
専門分野(日本語) 薄膜
専門分野(英語) Thin Films
主な研究業績

[1] 授業で使う実験装置の作製・改良

コメント

大学では超伝導体を使い低温物性の研究をしていました.本校に来てからは,機能性薄膜の作製と評価を行ってきました.現在は教育に専念しており,研究活動を休んでおります.
成膜速度は遅いですが,絶縁体成膜まで可能なスパッタ成膜装置(高速原子線スパッタ装置)や,触針式表面粗さ計を管理しております. 表面粗さ計を使えば,基板と膜表面の段差を測ることで膜厚を測定することも可能です.膜厚測定を希望される方はご連絡ください.但し,触針式ですので,柔らかい膜は針が膜を傷つけてしまい,正確な測定ができないことがあります.

研究キーワード

機能性薄膜,薄膜作製,物性評価